【热场均匀性】采用多区PID闭环控制技术，温控精度达±0.3℃，通过CFD流体仿真优化的风道设计实现工作区温差≤±1.5℃。特殊石英加热管配合金属合金散热片，升温速率15℃/min可调。【气体防护系统】集成O₂浓度实时监测模块（检测下限0.1ppm），配备双级气体纯化装置（露点-70℃）。氮气循环系统含4组质量流量控制器，可实现0.1-20L/min**调节，氧含量维持＜5ppm工况下耗气量降低40%。【自动化模块】搭载SECS/GEM通讯协议的机械手接口，支持12寸晶圆盒自动装卸。配备RFID物料追溯系统和故障自诊断功能（覆盖98%常见故障代码），MTBF突破8000小时。【无尘设计】整体符合ISO Class4标准，腔体内壁电解抛光Ra≤0.2μm，门体密封采用双层氟橡胶+金属弹簧复合结构，粒子释放量＜5个/ft³(≥0.1μm)。【安全机制】三重独立过热保护（热电偶+红外+软件冗余），紧急泄压阀响应时间＜50ms，符合SEMI S2/S8。